| 摘要 |
Un procédé de détermination du profil de surface d'objets de diffusion réflection consiste à procéder à la comparaison interférométrique des faisceaux de lumière reflétée par un miroir de référence (5) et par l'objet (11), à dévier le chemin optique du faisceau de l'objet, à focaliser le faisceau de l'objet sur un plan correspondant à une différence nulle entre les longueurs de chemin des faisceaux comparés de manière interférométrique, et à mesurer le changement dudit chemin optique entre la valeur initiale et jusqu'au moment d'obtention de l'image d'interférences du contraste maximum. Un dispositif de mise en oeuvre dudit procédé comprend un objectif (1) et, montés successivement, une source de rayonnement cohérent (2), et un interféromètre (5) comprenant un diviseur de lumière (4), un miroir de référence (5) situé d'un côté (6) de la surface du diviseur de lumière (4) perpendiculairement au chemin du faisceau, ainsi qu'un modulateur de chemin optique (7) monté de l'autre côté (9) de la surface dudit diviseur de lumière (4), de manière à pouvoir osciller le long du chemin du faisceau, et doté d'une unité (8) de mesure de son déplacement. Ledit dispositif comprend en outre un photorécepteur (12), une unité (13) de détermination du contraste des lignes d'interférence, ainsi qu'une unité (14) destinée à fixer la position dudit modulateur (7). Ledit modulateur (7) comporte un réflecteur en coin (10) dont l'axe de symétrie est parallèle au chemin du faisceau et est situé au-delà du plan dudit diviseur de lumière (4). L'objectif (1) est conçu de manière à permettre une conjugaison optique de la source de rayonnement cohérent (2) avec le plan correspondant à la différence de chemin nulle dudit interféromètre (3). |
