| 发明名称 |
APPARATUS AND METHOD FOR INSPECTING ELECTRO-OPTICAL DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH02264875(A) |
申请公布日期 |
1990.10.29 |
| 申请号 |
JP19890087426 |
申请日期 |
1989.04.06 |
| 申请人 |
SEIKO EPSON CORP |
发明人 |
OBARA HIROSHI;YAGUCHI KIYOHARU |
| 分类号 |
G01R1/067;G01R31/02;(IPC1-7):G01R31/02 |
主分类号 |
G01R1/067 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
