| 主权项 |
1.一种观测装置,包括: 一主体部份,可用于观测一受测物件; 一洁净箱,可用于容纳该主体部份;及 一空气供应单元,可将洁净空气供应至该洁净箱内 ; 该主体部份设有一观测平台,可供该受测物件安置 其上;及一卡匣容纳部份,可用于承载一内装该待 测物件之卡匣; 在该洁净箱之一侧表面,其位于该观测平台14及卡 匣容纳部份之侧向,的至少局部设有开口区,以便 使该空气供应单元供应至该洁净箱内之洁净空气 通过该观测平台14之上方、穿过装载于该卡匣容 纳部份之卡匣、并自该洁净箱内排出。2.如申请 专利范围第1项之观测装置,其中该洁净箱设有一 突出部份,其高度约与该平台之下端等高,该突出 部份系朝该主体部份之方向突出。3.如申请专利 范围第2项之观测装置,其中该突出部份之末端与 该主体部份间留有一小段距离。4.如申请专利范 围第1项之观测装置,其中该主体部份之卡匣容纳 部份附近设有一倾斜导件部份,用于将该空气供应 部份供应至该洁净箱内之洁净空气导入装载于该 卡匣容纳部份之卡匣中。5.如申请专利范围第1项 之观测装置,其中该主体部份中设有一可供该受测 物件安置其上之观测平台,且其中该观测平台与该 卡匣容纳部份间设有一隔间壁部份,用以区隔该观 测平台与该卡匣容纳部份所在之区域。6.如申请 专利范围第1项之观测装置,其中该主体部份包括 一观测单元,可用于将紫外线射于该受测物件,并 侦测反射光或传导光,藉以观测该物件。图式简单 说明: 第一图为本发明观测装置之整体透视图。 第二图显示该装置主体部份之内部,观察方向为第 一图中箭头A1所示之方向,该主体部份系位于该观 测装置之一洁净箱内。 第三图为该观测装置主体部份之顶视平面示意图 。 第四图为该观测装置一示范结构之方块图。 第五图显示该观测装置中光学单元之光学系统示 范结构。 第六图为一流程图,显示如何在该观测装置中观测 半导体晶圆之基本程序。 第七图a显示参考区域中的典型影像(其为一参考 影像),其中形成一类似正在观测中的区域中的装 置图案之装置图案。 第七图b显示在一受观测而有缺陷区域中的影像, 其为一有缺陷影像。 第七图c显示基于彩色资讯或灰阶资讯撷取自参考 影像的装置图案。 第七图d显示代表撷取缺陷的结果之影像。 第七图e显示代表关于缺陷的特征量的影像。 第八图为一透视示意图,显示该观测装置之洁净箱 在与洁净空气单元分离后之情形。 第九图为该观测装置中洁净箱之侧视图,观察方向 为第二图中箭头A2所示之方向。 第十图为该观测装置主体部份之透视图。 |
