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发明名称 SHAPE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0245706(A) 申请公布日期 1990.02.15
申请号 JP19880196816 申请日期 1988.08.05
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUKAHARA HIROYUKI;HIZUKA TETSUO;HIRAOKA NORIYUKI;KAKIGI GIICHI;NAKAJIMA MASAHITO;SUDO YOSHINORI
分类号 G01B11/24;G01N21/88;G01N21/93;H01L21/66;H05K3/00 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
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