发明名称 INTERFEROMETER WITH SINGLE OR MULTIPLE HEADS
摘要
申请公布号 IL90113(D0) 申请公布日期 1989.12.15
申请号 IL19890090113 申请日期 1989.04.28
申请人 MARIONET LTD. 发明人
分类号 G01B;(IPC1-7):G01B/ 主分类号 G01B
代理机构 代理人
主权项
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