发明名称 RESIST COATING DEVICE AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 JPH01281727(A) 申请公布日期 1989.11.13
申请号 JP19880111031 申请日期 1988.05.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SUGIMOTO NAOAKI
分类号 B05C11/08;B05C11/10;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/31 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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