发明名称 INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH01256164(A) 申请公布日期 1989.10.12
申请号 JP19880084311 申请日期 1988.04.06
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 TAKAGI TSUTOMU
分类号 H01L21/822;H01L21/66;H01L27/04 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
主权项
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