发明名称 INSTALLATION DE PULVERISATION CATHODIQUE A POSTES JUXTAPOSES
摘要
申请公布号 FR2562560(B1) 申请公布日期 1989.07.28
申请号 FR19850004972 申请日期 1985.04.02
申请人 LEYBOLD HERAEUS GMBH 发明人 PETER MAHLER
分类号 C23C14/34;C23C14/56;H01J37/34;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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