发明名称 MANUFACTURE OF ABSOLUTE PRESSURE TYPE SEMICONDUCTOR PRESSURE SENSOR
摘要
申请公布号 JPS6418273(A) 申请公布日期 1989.01.23
申请号 JP19870175253 申请日期 1987.07.13
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KATAOKA MASAYUKI
分类号 G01L9/04;G01L9/00;H01L29/84 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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