发明名称 DIE-BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS63293834(A) 申请公布日期 1988.11.30
申请号 JP19870130178 申请日期 1987.05.26
申请人 NEC KAGOSHIMA LTD 发明人 ZAISHO ATSUSHI
分类号 H01L21/52 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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