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发明名称
DIE-BONDING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS63293834(A)
申请公布日期
1988.11.30
申请号
JP19870130178
申请日期
1987.05.26
申请人
NEC KAGOSHIMA LTD
发明人
ZAISHO ATSUSHI
分类号
H01L21/52
主分类号
H01L21/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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