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发明名称 WERKSTUECKPOSITIONIEREINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DD255300(A5) 申请公布日期 1988.03.30
申请号 DD19870300441 申请日期 1987.03.04
申请人 RANK TAYLOR HOBSON LIMITED,GB 发明人 BARNABY,ANTHONY B.,GB;MILLS,MICHAEL W.,GB
分类号 G01B21/00;B23Q1/54;G01B5/00;G01B5/255;G01B7/28;G12B5/00;H01L21/68;(IPC1-7):B23Q15/22;B23Q16/00 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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