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发明名称 PROJECTION PRINTING
摘要
申请公布号 GB2171214(A) 申请公布日期 1986.08.20
申请号 GB19850019449 申请日期 1985.08.02
申请人 * USHIO DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 TAKEHIRO * KIRA
分类号 G03F7/20;H01J61/16;H01L21/027;(IPC1-7):G03B27/54 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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