发明名称 METHODS OF SELECTIVELY DIFFUSING IMPURITIES INTO SEMICONDUCTORS
摘要
申请公布号 GB2168194(A) 申请公布日期 1986.06.11
申请号 GB19850029057 申请日期 1985.11.26
申请人 * SONY CORPORATION 发明人 MASARU * WADA;YOJI * KATO
分类号 H01L21/22;H01L21/033;H01L21/223;(IPC1-7):H01L21/223;H01L21/302 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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