发明名称 MANUFACTURE OF INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 GB1600048(A) 申请公布日期 1981.10.14
申请号 GB19780015487 申请日期 1978.04.19
申请人 IBM CORP 发明人
分类号 H01L27/10;H01L21/306;H01L21/3205;H01L21/768;H01L21/8234;H01L21/8242;H01L27/06;H01L27/108;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/44;H01L21/88 主分类号 H01L27/10
代理机构 代理人
主权项
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