| 发明名称 |
ELECTRON BEAM WORKING MACHINE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS55161584(A) |
申请公布日期 |
1980.12.16 |
| 申请号 |
JP19790070038 |
申请日期 |
1979.06.06 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KITA HISANAO;KARATSU YOSHINORI;NAKASAKI TAKAMITSU;AKUTSU YOUJI |
| 分类号 |
H01J37/06;B23K15/00;H01J37/30;H01J37/315 |
主分类号 |
H01J37/06 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
