| 发明名称 |
ELECTRON SENSITIVE RESIN MATERIAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS55133035(A) |
申请公布日期 |
1980.10.16 |
| 申请号 |
JP19790039994 |
申请日期 |
1979.04.02 |
| 申请人 |
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HIBINO KUNIO |
| 分类号 |
G03F7/20;C08F20/00;C08F20/10;C08F220/40;G03C1/72;G03C5/08;G03F7/038;G03F7/039;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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