喷头清洁的方法与设备

摘要

明实施例大致关于腔室部件之异位清洁的方法与设备。一实施例中，提供在清洁化学物中清洁部件之系统。系统包括湿工作台设立组与可分开式清洁货车，湿工作台设立组包括在清洁处理过程中固持一或多个欲清洁之部件的清洁容器组件，而可分开式清洁货车可分开地耦接清洁容器组件，以在清洁处理过程中供应一或多个清洁化学物至清洁容器组件。

主权项

一种在一清洁化学物中清洁多个部件之系统，包括：一湿工作台设立组，包括：一清洁容器组件，用以在一清洁处理过程中固持一或多个欲清洁之部件，该清洁容器阻件包括：一第一清洁槽，用以支撑一欲清洁之第一部件；一转换器，位于该第一清洁槽下方；一支撑件，位于该该第一清洁槽中以支撑该欲清洁之第一部件；及一第二清洁槽，环绕该第一清洁槽；一框架，形成一溢流槽以固持该清洁容器组件并保留任何在处理过程中自该清洁容器组件溢出之流体；及一水槽排出管线，用以移除该溢流槽在清洁过程中所保留之任何流体；及一可移动且可分开式清洁货车，可分开地耦接该清洁容器组件，以在该清洁处理过程中供应一或多个清洁化学物至该清洁容器组件，该可分开式清洁货车包括：一系统控制器，用以控制该清洁处理；及一清洁流体供应模组，用以供应清洁流体至该清洁容器组件并回收，该清洁流体供应模组包括：一惰性气体模组，用以供应一惰性气体，该
惰性气体可在该清洁处理过程中作为一清除气体；一去离子(DI)水供应模组，用以在该清洁处理过程中供应去离子水；一第一清洁流体供应槽，用以供应清洁流体至该第一清洁槽；及一第二清洁流体供应槽，用以供应清洁流体至该第二清洁槽。