| 摘要 |
백 엔드 오브 라인(back end of line, BEOL) 상호접속부들을 위한 멀티-컬러 포토버킷들을 이용한 셀프-정렬 비아 패터닝이 설명된다. 일례에서, 집적 회로를 위한 상호접속 구조체는 기판 위에 배치되는 상호접속 구조체의 제1 층을 포함한다. 상호접속 구조체의 제1 층 위에 상호접속 구조체의 제2 층이 배치된다. 제2 격자의 유전체 라인들은 제1 격자의 유전체 라인들과 오버랩하고 접촉하지만 별개이다. 제1 및 제2 유전체 영역들이, 제1 격자의 유전체 라인들의 상부들 및 제2 격자의 유전체 라인들의 하부들과 동일 평면에, 제1 격자의 금속 라인들과 제2 격자의 금속 라인들 사이에 배치된다. 제1 유전체 영역은 제1 교차-결합된 광분해성 물질에 의해 구성되고, 제2 유전체 영역은 상이한 제2 교차-결합된 광분해성 물질에 의해 구성된다. |
