| 主权项 |
1.一种可避免晶圆破裂之旋乾机,包括:一主机台,具有一旋转机制以及复数个承座,该承座系可以承载复数个晶圆匣,并藉由该旋转机制带动晶圆匣转动,使其内部插槽之晶圆可以被旋乾;以及复数个固定机构,系分别设于主机台之晶圆匣外侧,该固定机构系由复数个夹爪所组成并分别与晶圆匣内部之插槽相对应;当旋乾机在将晶圆旋乾时,系利用固定机构之夹爪进行夹持动作将插槽内部之晶圆固定住,以避免晶圆因为旋乾机旋转所产生之振动而造成破坏,并在旋乾机停止转动时进行展开动作将晶圆释放。2.如申请专利范围第1项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中该固定机构之夹爪系以手动方式进行夹持与展开动作。3.如申请专利范围第1项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中该固定机构之夹爪系以电路控制方式进行夹持与展开动作。4.如申请专利范围第1项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中该固定机构之夹爪前端系设有软垫,该夹爪系利用软垫插入晶圆匣之插槽内部,将晶圆固定住以避免旋乾机因为旋转所产生之振动而造成破坏。5.如申请专利范围第1项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中该固定机构系由复数个夹爪所组成,该夹爪系包括:二前夹爪,上述二前夹爪系设于晶圆匣之两侧其中间系分别设有支点,使上述二前夹爪系可以绕着该支点进行展开与夹持动作;二施力导杆,其前端系分别与前夹爪之后端枢接;以及一连接部,其两端系分别与上述二施力导杆之后端枢接;该固定机构系可以利用连接部向后移动,并带动二施力导杆使二前夹爪进行夹持动作,使晶圆可以被固定于晶圆匣之插槽内部,又当连接部向前移动,其将带动二施力导杆使二前夹爪进行展开动作,使晶圆可以被释放。6.如申请专利范围第5项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中上述二前夹爪在其后端系利用一弹簧相连接,该弹簧系利用其弹力带动二前夹爪进行展开动作,使晶圆可以被释放。7.如申请专利范围第5项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中该固定机构系利用旋乾机转动时所产生之离心力驱动连接部向后移动,使二前夹爪产生夹持动作,并在旋乾机停止转动时,利用弹簧之弹力带动二前夹爪进行展开动作。8.如申请专利范围第7项所述之可避免晶圆破裂之旋乾机,其中该固定机构系在连接部之后方设置一重物,使连接部可以产生较大之离心力。图式简单说明:第一图系为习知技术之旋乾机示意图;第二图系为晶圆匣之示意图;第三图A系为本创作之旋乾机示意图;第三图B系为本创作之旋乾机夹持晶圆之动作示意图;第四图系为本创作之固定机构示意图。 |
