发明名称 一种大功率离子源稳定长脉冲运行方法
摘要 本发明公开了一种大功率离子源稳定长脉冲运行方法,利用大功率离子源引出束电流大小的信号,和预设的阈值信号进行比较,利用实时信号比较处理单元计算输出控制信号,通过离子源运行控制单元进行实时调节离子源的运行,达到维持离子源引出束电流基本不变,达到大功率离子源稳定长脉冲运行的目的。
申请公布号 CN103824742B 申请公布日期 2016.06.08
申请号 CN201410046013.2 申请日期 2014.02.08
申请人 中国科学院等离子体物理研究所 发明人 谢亚红;胡纯栋;刘胜;刘智民;蒋才超;盛鹏;陈俞钱
分类号 H01J37/08(2006.01)I;H01J27/02(2006.01)I 主分类号 H01J37/08(2006.01)I
代理机构 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 代理人 余成俊
主权项 一种大功率离子源稳定长脉冲运行方法,其特征在于:根据大功率离子源的工作原理,利用电流信号测量器件实时测量离子源引出束电流信号,并将离子源引出束电流信号隔离处理后输出到信号比较处理单元;信号比较处理单元基于离子源的运行特点,根据引出束的电压预设阈值信号,将阈值信号与离子源引出束电流信号进行实时比较运算,输出控制信号至离子源运行控制单元;离子源运行控制单元实时响应信号比较处理单元输出的控制信号,实时调节离子源起弧运行的输入初始参数,进而调节离子源等离子体的产生,以维持离子源引出束电流的大小不变,达到大功率离子源稳定长脉冲运行的目的;所述电流信号测量器件需长时间稳定工作测量离子源引出束电流信号,工作时长大于10s;所述离子源引出束电流信号与阈值信号处理单元的响应时间小于1ms。
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