石英样式晶圆

摘要

1．本外观设计产品的名称：石英样式晶圆。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于在半导体制造装置中，承载在对作为处理对象的半导体基板（晶圆）进行保持的基板保持具（又叫做晶圆保持具或船具）上，在进行成膜处理时使用的适配器。3．本外观设计产品的设计要点：本外观设计产品的形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：A部立体图。5．省略视图：左视图与右视图对称省略左视图，俯视图与仰视图对称省略俯视图。