一种残余应力可控的复合柔性衬底及其制备工艺与应用

摘要

本发明属于LED显示技术领域，公开了一种残余应力可控的复合柔性衬底及其制备工艺与应用。所述残余应力可控的复合柔性衬底包括依次层叠的底层柔性衬底、应力调控层和顶层柔性衬底；所述应力调控层为具有压应力的应力调节层。本发明通过热学或光学的方法调节应力调控层的应力大小，可以获得残余应力几乎为零的复合柔性衬底，进而消除衬底残余应力释放导致的器件不受控卷曲现象，实现超薄柔性电子器件的自然平整性。也可根据需要通过应力调控层调节复合柔性衬底的整体应力类型与应力值，从而实现特定弯曲半径、特定弯曲方向的柔性电子器件的制作。

主权项

一种残余应力可控的复合柔性衬底，其特征在于：包括依次层叠的底层柔性衬底、应力调控层和顶层柔性衬底。