| 摘要 |
本発明は、HClやHF等のガス混合物を含む五フッ化リン(PF5)から、半導体分野や電池分野において、工業的に有用な材料である高純度のPF5を得る方法を提供するものであり、具体的には、（１）混合物を含む五フッ化リン(PF5)と比表面積が1.0m2/g以上である金属フッ化物(MFn)とを40〜150℃で接触させ、五フッ化リンを六フッ化リン酸塩(M(PF6)n、Mはn価の金属)として固定化する固定化工程、（２）気相部に残留した混合物を系外に排気することにより、六フッ化リン酸塩から混合物を分離する混合物分離工程、及び（３）当該混合物分離後の六フッ化リン酸塩を150〜400℃で加熱し、−0.1MPa・G以上＋0.1MPa・G以下の圧力下で五フッ化リンを得る加熱分解工程、を含み構成される五フッ化リンの精製方法を提供するものである。 |
