| 摘要 |
스위치드-커패시터 디시-디시 컨버터는, 수직방향으로 중첩되도록 배치되는 로직셀과 커패시터셀을 포함한다. 로직셀은 제1 기판에 배치되는 복수개의 능동소자들을 갖는다. 커패시터셀은 제2 기판에 배치되는 커패시터를 갖는다. 제1 기판 위의 제1 층간절연층과 제2 기판 위의 제2 층간절연층은 서로 본딩된다. 로직셀의 어느 하나의 배선층패턴에 결합되는 제1 관통비아와, 커패시터셀의 하부전극층패턴에 전기적으로 결합되는 하부배선층패턴에 결합되는 제2 관통비아는, 제1 외부회로패턴을 통해 상호 결합된다. 커패시터셀의 상부전극층패턴에 전기적으로 결합되는 상부배선층패턴에 결합되는 제3 관통비아와, 로직셀의 다른 하나의 배선층패턴에 결합되는 제4 관통비아는, 제2 외부회로패턴을 통해 상호 결합된다. |
