发明名称 感光性樹脂組成物、該樹脂組成物を用いたパターン硬化膜の製造方法及び電子部品
摘要 A photosensitive resin composition including: (a) a polybenzoxazole precursor; (b) a photosensitizer; (c) a solvent; (d) a cross-linking agent; and (e) a heterocyclic compound including a hydroxyl group, an alkoxy group or a carboxyl group within a molecule.
申请公布号 JP5920345(B2) 申请公布日期 2016.05.18
申请号 JP20130520434 申请日期 2012.06.13
申请人 日立化成デュポンマイクロシステムズ株式会社 发明人 峯岸 知典;加藤木 茂樹
分类号 G03F7/085;G03F7/004;G03F7/023 主分类号 G03F7/085
代理机构 代理人
主权项
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