| 发明名称 |
滤光器及分析机器 |
| 摘要 |
明提供一种滤光器，其特征在于：其包含：下部基板；下部镜，其系设置于上述下部基板；下部电极，其系设置于上述下部基板；上部基板，其系与上述下部电极相对向而设置；上部镜，其系设置于上述上部基板，与上述下部镜相对向；及上部电极，其系设置于上述上部基板，与上述下部电极相对向；且上述上部基板于俯视时，包含围着上述上部镜之沟槽；上述沟槽于剖视时，包含第1侧面部、第2侧面部、底面部、位于上述第1侧面部与上述底面部之间之第1端部、及位于上述第2侧面部与上述底面部之间之第2端部；上述第1端部及上述第2端部包含曲面。 |
| 申请公布号 |
TWI528050 |
申请公布日期 |
2016.04.01 |
| 申请号 |
TW100108982 |
申请日期 |
2011.03.16 |
| 申请人 |
精工爱普生股份有限公司 |
发明人 |
新东晋;山崎成二 |
| 分类号 |
G02B26/00(2006.01);G02B5/20(2006.01) |
主分类号 |
G02B26/00(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种滤光器，其特征在于：其包含：第1基板；第1镜，其系设置于上述第1基板；第1电极，其系设置于上述第1基板；第2基板，其系与上述第1电极相对向而设置；第2镜，其系设置于上述第2基板，与上述第1镜相对向；及第2电极，其系设置于上述第2基板，与上述第1电极相对向；且上述第2基板于俯视时，包含围着上述第2镜之沟槽；上述沟槽于剖视时，包含第1侧面部、第2侧面部、底面部、位于上述第1侧面部与上述底面部之间之第1端部、及位于上述第2侧面部与上述底面部之间之第2端部；上述第1端部包含第1曲面、上述第2端部包含第2曲面；于俯视时，上述第1侧面部系配置于上述第2镜与上述第2侧面部之间；上述第1曲面系向着上述第2镜凸起者。
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| 地址 |
日本 |
