液体供给单元及具有其的基板处理装置

摘要

本发明的实施例提供一种供给液体的液体供给单元及基板处理装置。所述液体供给单元是用于将处理液供给到喷嘴的单元，其包括：瓶子，其内部具有储存处理液的储存空间，且其上表面开放；阀门组件，其开闭所述上表面。所述阀门组件包括：本体，其内部形成主通道及连接到所述主通道的供给通道；驱动轴，其设置在所述主通道；驱动器，其用于使所述驱动轴向第1位置和第2位置移动，其中所述第1位置为所述驱动轴切断所述供给通道的位置，所述第2位置为开放所述供给通道的位置。开闭瓶子的阀门组件具有阀门功能，可以调节瓶子内处理液的流入和流出。

主权项

一种液体供给单元，其用于将处理液供给到喷嘴，其中，所述液体供给单元包括：瓶子，其内部具有储存处理液的储存空间，且所述瓶子的上表面开放；以及阀门组件，其用于开闭所述上表面，所述阀门组件包括：本体，其内部形成主通道及与所述主通道连接的供给通道；驱动轴，其位于所述主通道；以及驱动器，其用于使所述驱动轴移动至第1位置和第2位置，其中，所述第1位置为所述驱动轴切断所述供给通道的位置，所述第2位置为所述驱动轴开放所述供给通道的位置。