| 发明名称 |
掺杂Ｍｎ及Ｎｂ之ＰＺＴ系压电体膜 |
| 摘要 |
明之掺杂Mn及Nb之PZT系压电体膜系由掺杂Mn及Nb之复合金属氧化物所构成，膜中之金属原子比(Pb：Mn：Nb：Zr：Ti)满足(0.98~1.12)：(0.002~0.056)：(0.002~0.056)：(0.40~0.60)：(0.40~0.60)，且前述Mn及Nb之金属原子比之合计为1时之前述Mn之比例为0.20~0.80、前述Zr及Ti之金属原子比之合计为1时之前述Zr之比例为0.40~0.60、前述Mn、Nb、Zr及Ti之金属原子比之合计为1时之前述Zr及Ti之合计比例为0.9300~0.9902。
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| 申请公布号 |
TW201601360 |
申请公布日期 |
2016.01.01 |
| 申请号 |
TW104107913 |
申请日期 |
2015.03.12 |
| 申请人 |
三菱综合材料股份有限公司 |
发明人 |
土井利浩;桜井英章;曽山信幸 |
| 分类号 |
H01L41/39(2013.01);H01L41/318(2013.01) |
主分类号 |
H01L41/39(2013.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
林志刚 |
| 主权项 |
一种掺杂Mn及Nb之PZT系压电体膜，其系由掺杂Mn及Nb之复合金属氧化物所构成，膜中之金属原子比(Pb：Mn：Nb：Zr：Ti)满足(0.98~1.12)：(0.002~0.056)：(0.002~0.056)：(0.40~0.60)：(0.40~0.60)，且前述Mn及Nb之金属原子比之合计为1时之前述Mn之比例为0.20~0.80、前述Zr及Ti之金属原子比之合计为1时之前述Zr之比例为0.40~0.60、前述Mn、Nb、Zr及Ti之金属原子比之合计为1时之前述Zr及Ti之合计比例为0.9300~0.9902。
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| 地址 |
日本 |
