发明名称 TRENCH FORMATION IN A SEMICONDUCTOR MATERIAL
摘要
申请公布号 EP2122677(A1) 申请公布日期 2009.11.25
申请号 EP20080729122 申请日期 2008.02.06
申请人 FREESCALE SEMICONDUCTOR, INC. 发明人 HALL, MARK D.;ABELN, GLENN C.;GRANT, JOHN M.
分类号 H01L21/336;H01L21/762;H01L27/11 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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