| 摘要 |
접착 장치는 전자 부품을 수지 시트에 의해서 접착하기 위한 접착 장치이다. 접착 장치는 전자 부품, 및, 전자 부품과 간격을 두고 대향 배치되는 수지 시트를 구비하는 접착 준비체를 수용 가능한 제 1 캐비티를 가지는 제 1 형 부재와, 제 1 캐비티와 제 1 밀폐 공간을 형성 가능하도록, 수지 시트와 대향 배치되는 탄성 부재와, 제 1 형 부재에 접속되어 있고, 제 1 밀폐 공간의 기압을, 탄성 부재에 대해 제 1 밀폐 공간의 반대측의 공간의 기압보다 낮게 하기 위한 차압 발생 수단을 구비한다. 접착 장치는, 차압 발생 수단이 작동하는 것에 의해서, 탄성 부재가 제 1 캐비티측으로 이동하고, 이것에 의해, 접착 준비체가, 전자 부품과 수지 시트의 대향 방향으로 가압되어, 수지 시트에 의해서 전자 부품을 접착하도록 구성되어 있다. |
