具有光圈之投射物镜;PROJECTION OBJECTIVE WITH DIAPHRAGMS

摘要

投射物镜(200)用于将设置在投射物镜之物件平面(OS)之物件成像为物件之位于投射物镜之影像平面(IS)的影像，其包含多个透明光学元件以及多个支托装置，支托装置用于将光学元件支托在沿着投射物镜之成像光束路径的预定位置。各光学元件具有位于成像光束路径中之光学用区，以及位于光学用区外之边缘区。指派给光学元件之支托装置之至少一支托元件作用于接触区之区域中的边缘区。至少一光学元件(L2-1、L2-2、L3-6)指派有光圈配置(SA1、SA2、SA3)，系具有直接设置在光学元件上游之第一杂光光圈(SLS1)以及直接设置在光学元件下游之第二杂光光圈(SLS2)，各杂光光圈形成为使得杂光光圈对边缘区之至少一部分筛选行进在成像光束路径外的辐射。