| 发明名称 | 自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室及其调谐方法 | ||
| 摘要 | |||
| 申请公布号 | TWI484527 | 申请公布日期 | 2015.05.11 |
| 申请号 | TW101151245 | 申请日期 | 2012.12.28 |
| 申请人 | 中微半导体设备（上海）有限公司 | 发明人 | 罗伟义;许颂临;倪图强 |
| 分类号 | H01J37/32 | 主分类号 | H01J37/32 |
| 代理机构 | 代理人 | 林志青 台北市信义区松隆路102号18楼之1 | |
| 主权项 | 一种自动频率调谐源和偏置射频电源的电感耦合等离子处理室，其包含：一处理室(6)；一阴极(7)，其设置于该处理室(6)内腔底部；复数个源线圈(5)，其设置于该处理室(6)顶部上；一源射频电源(3)，其电路连接复数个该源线圈(5)；一偏置射频电源(2)，其电路连接该阴极(7)；其中，该源射频电源(3)和该偏置射频电源(2)系为具有自动频率调谐功能的射频电源；该源射频电源(3)与该源线圈(5)之间电路连接有一匹配电路(1)；该偏置射频电源(2)与该阴极(7)之间电路连接有另一匹配电路(1)；该匹配电路(1)是固定的，该源射频电源(3)和该偏置射频电源(2)回应并匹配负载阻抗的变化；该等离子处理室还包含：一检测电路，其输入端电路连接该处理室(6)，以检测处理室(6)的负载阻抗；一控制电路，该源射频电源(3)和该偏置射频电源(2)分别对应电路连接有该控制电路，该控制电路电路连接该检测电路的输出端用于根据检测电路所检测到的负载阻抗，控制源射频电源(3)和偏置射频电源(2)的输出频率以回应该负载阻抗。 | ||
| 地址 | 中国 | ||