| 发明名称 | 一种热隔离式MEMS微波功率传感器 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种热隔离式MEMS微波功率传感器，其在现有MEMS微波功率传感器设置有方形隔离环，所述隔离环深度为90um，宽度为5um，以减少了微波功率传感器通过衬底散失的热量，提高了传感器对微波功率的测试精度。 | ||
| 申请公布号 | CN103149424B | 申请公布日期 | 2015.05.06 |
| 申请号 | CN201310066611.1 | 申请日期 | 2013.03.01 |
| 申请人 | 东南大学 | 发明人 | 廖小平;周锐 |
| 分类号 | G01R21/02(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I | 主分类号 | G01R21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人 | 柏尚春 |
| 主权项 | 一种热隔离式MEMS微波功率传感器，包括MEMS微波功率传感器，其特征在于，在MEMS微波功率传感器外围设置有隔离环。 | ||
| 地址 | 210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号 | ||