泡生法生长蓝宝石晶体的自动引晶方法

摘要

本发明属于蓝宝石单晶生长技术领域，具体是一种泡生法生长蓝宝石晶体的自动引晶方法，其特征在于:引晶运行首先将称重机构自动进行归零；程序通过曲线自动计算出籽晶的重量变化，若此重量变化在10-20g，程序将进入自动进行拉环动作，否则程序将自动调节电压使晶体重量变化满足要求；拉环过程中称重系统将自动计算晶体重量的变化率，并通过程序自动调节电压，程序继续计算变化率，直至晶体重量的变化率控制在0.1g/min至0.5g/min之间时，引晶完成，自动进入生长阶段。采用本发明引晶方法生长蓝宝石晶体，炉引晶炉数不再受引晶工程师数量的限制，生产规模可迅速提高，从而节约大量的人力成本，大大降低生产成本。

主权项

一种泡生法生长蓝宝石晶体的自动引晶方法，先将高纯氧化铝原料填充到坩埚中，坩埚上方装有可旋转和升降的提拉杆，杆的下端有一个籽晶夹具，在其上装有一粒定向的蓝宝石籽晶，将坩埚安装到蓝宝石晶体生长炉中，真空加热化料，化料后降低发热电压至液流平稳，开始引晶，其特征在于:籽晶带有自动称重系统，先通过旋转机构旋转，升降机构缓慢下降，称重机构自动进行归零；当称重系统重量曲线出现第一个峰值，程序认定为籽晶接触到液面，籽晶杆升降机构切换到快速下降系统，籽晶继续下降；程序通过曲线自动计算出籽晶的重量变化，若此重量变化在10‑20g，程序将进入自动进行拉环动作，否则程序将自动调节电压使晶体重量变化满足要求；拉环过程中称重系统将自动计算晶体重量的变化率，并通过程序自动调节电压，程序继续计算变化率，直至晶体重量的变化率控制在0.1g/min至0.5g/min之间时，引晶完成，自动进入生长阶段。