基板处理方法、记录有用来执行此基板处理方法之程式的记录媒体、基板处理装置及差压式流量计的异常检测方法

摘要

本发明之课题为：提供基板处理方法及基板处理装置，其可轻易地检测出设在用来供给处理液至供给喷嘴之供给流道上的差压式流量计的流量量测值偏离于实际值。;本发明之基板处理方法系利用经由设在用来供给处理液之供给流道上的差压式流量计而连接的供给喷嘴，对基板供给处理液，并以所供给的处理液来处理基板。为解决上述课题，该基板处理方法包含：量测步骤S15，在未对基板供给处理液时，以差压式流量计内的压力量测部来量测供给流道内的压力；判定步骤S16，藉由比较进行量测步骤S15所量测到的压力值、与既定之压力值，来判定压力量测部是否正常动作；及供给步骤S11，于判定步骤S16中判定压力量测部正常动作时，对基板供给处理液。

主权项

一种基板处理方法，其利用经由设在用来供给处理液之供给流道上的差压式流量计而连接的供给喷嘴，对基板供给处理液，并以所供给的处理液来处理基板；该基板处理方法包含：量测步骤，在未对基板供给处理液时，以该差压式流量计内的压力量测部来量测该供给流道内的压力；判定步骤，藉由比较进行该量测步骤所量测到的压力值、与既定之压力值，来判定该压力量测部是否正常动作；及供给步骤，于该判定步骤中判定该压力量测部正常动作时，对基板供给处理液；且该量测步骤量测该供给流道之上游侧之压力及下游侧之压力，该判定步骤计算该量测步骤所量测到的该上游侧之压力及该下游侧之压力之差压，判定计算出之该差压是否大于预先设定之既定之差压上限值，藉此，来判定该压力量测部是否正常动作。