发明名称 平整度检测装置及其检测方法
摘要 一种平整度检测装置,包括一承载平台、一发光模组、一光接收模组、一影像处理模组以及一比对模组。承载平台具有一平面,用以承载一待测物以及供一光线穿透。发光模组配置于承载平台中,并朝平面发出光线。光线由待测物靠近此平面之侧边与此平面间射出而产生一检测光。光接收模组位于承载平台之一侧,用以接收检测光,并产生一影像讯号。影像处理模组用以处理影像讯号,以量测待测物靠近此平面之侧边与平面间的一间隙高度。比对模组根据间隙高度与一标准值之比对结果,输出一检测讯号,以判断间隙高度是否符合标准。
申请公布号 TWI460395 申请公布日期 2014.11.11
申请号 TW101126732 申请日期 2012.07.25
申请人 财团法人工业技术研究院 新竹县竹东镇中兴路4段195号 发明人 黄国唐;蔡雅惠;吕尚杰;张津魁;郑智杰;李韦辰
分类号 G01B11/30;G01B11/14 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人 祁明辉 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;林素华 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2;涂绮玲 台北市信义区忠孝东路5段510号22楼之2
主权项 一种平整度检测装置,包括:一承载平台,具有一平面,用以承载一待测物以及供一光线穿透;一发光模组,配置于该承载平台中,用以发出该光线,该光线由该待测物靠近该平面之侧边与该平面间射出而产生一检测光;一光接收模组,位于该承载平台之一侧,用以接收该检测光,并产生一影像讯号;一影像处理模组,用以接收并处理该影像讯号,以量测该待测物靠近该平面之侧边与该平面间的一间隙高度,该影像处理模组连接一比对模组,该比对模组根据该间隙高度与一标准值之比对结果,输出一检测讯号,以判断该间隙高度是否符合标准;以及一调光模组,连接于该比对模组与该发光模组之间,用以调整该发光模组的亮度。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号