| 摘要 |
本发明的课题为其目的为提供一种静电吸盘，可将被吸附保持的处理对象物维持于所需的温度。;本发明的解决手段为提供一种静电吸盘，其特征包含：陶瓷介电质基板，具有：承载处理对象物的第一主表面，和与前述第一主表面相反侧的第二主表面，为多晶陶瓷烧结体；电极层，介设于前述陶瓷介电质基板的前述第一主表面与前述第二主表面之间，被一体烧结于前述陶瓷介电质基板，前述陶瓷介电质基板具有：前述电极层与前述第一主表面之间的第一介电层，和前述电极层与前述第二主表面之间的第二介电层，前述电极层包含：具有导电性的第一部分，与红外线分光透射率比前述第一部分高的第二部分，前述陶瓷介电质基板之中至少前述第一介电层中的红外线分光透射率为以厚度1毫米(mm)换算为20百分比(%)以上。 |
