一种表面等离子体传输器件、制备方法和应用

摘要

本发明提供一种表面等离子体传输器件、制备方法和应用，涉及电子元器件领域。该表面等离子体传输器件，包括基底，设于基底上的纳米波导和电极，所述纳米波导连接有至少两个电极、且其端点裸露于电极之外。表面等离子体传输器件的制备方法为采用电子束刻蚀法在基底一侧制备标记，然后在基底带有标记一侧沉积银纳米线，根据标记定位银纳米线，采用电子束刻蚀方法在基底上刻蚀电极，银纳米线连接至少两个电极、且银纳米线的两个端点裸露于电极之外。本发明表面等离子体传输器件，体积小，能够同时传输等离子体和电子，显著提高现有信息传输器件的传输速度和传输量，可以应用于纳米元器件中。本发明表面等离子体传输器件的制备方法，新颖巧妙。

主权项

一种表面等离子体传输器件，包括基底，其特征在于所述表面等离子体传输器件还包括设于基底上的纳米波导和电极，所述纳米波导连接有至少两个电极、且所述纳米波导的两个端点裸露于电极之外。