一种蓝宝石晶棒（片）光学均匀性检测装置

摘要

本发明公开一种蓝宝石晶棒（片）光学均匀性检测装置，该装置包括起偏器、检偏器和CCD相机，其特征在于该装置还包括：单色高功率LED点光源、非球面聚光反射镜、相位延迟器、光学整形器和微调载物台；该装置的组成部件按照下述顺序设置：非球面聚光反射镜、单色高功率LED点光源、起偏器、相位延迟器、光学整形器、微调载物台、检偏器和CCD相机，并依次固定于钢制连接板上，且构成检测光路。该装置结构简单，使用方便，检测精度高，特别适合于双折射系数较小的蓝宝石晶棒（片）的质量检测与控制。

主权项

一种蓝宝石晶棒（片）光学均匀性检测装置，该装置包括起偏器、检偏器和CCD相机，其特征在于该装置还包括：单色高功率LED点光源、非球面聚光反射镜、相位延迟器、光学整形器和微调载物台；该装置的组成部件按照下述顺序设置：非球面聚光反射镜、单色高功率LED点光源、起偏器、相位延迟器、光学整形器、微调载物台、检偏器和CCD相机，并依次固定于钢制连接板上，且构成检测光路。