束流传输系统及方法

摘要

本发明公开了一种束流传输系统，其包括一束流出射装置和一作为束流传输终点的目标工件，在该束流出射装置与该目标工件之间设有一对相互平行的、分别位于束流传输路径两侧的杆状四极磁铁。本发明还公开了一种利用上述束流传输系统实现的束流传输方法。本发明通过采用该对杆状四极磁铁，一方面能够缩短束流的传输路径，提高束流的传输效率以及到达目标工件处的束流强度；另一方面还能够便捷地对束流的强度分布和角度分布进行控制，从而提高束流的利用效率，并且有利于提高束流的注入剂量均匀性和注入角度均匀性。