铁电薄膜的制造方法和静电喷涂用液

摘要

本发明提供铁电薄膜的制造方法和静电喷涂用液。在烧成通过静电喷涂吐出、形成的薄膜之后，得到致密且无龟裂的铁电薄膜。该方法为，从毛细管的吐出口朝向具有下部电极的基板的下部电极静电喷涂铁电薄膜形成用的静电喷涂用液而将静电喷涂用液涂布到下部电极上来形成涂膜，对该涂膜进行干燥、临时烧结之后进行烧成来使其结晶化，从而在下部电极上制造铁电薄膜。将静电喷涂用液设为均匀混合铁电薄膜形成用溶胶-凝胶液和具有与该溶胶-凝胶液的固体物相同组成且具有可从吐出口吐出的粒径的粉末的混合液，且将溶解于溶胶-凝胶液中的金属化合物换算成金属氧化物的质量设为A，将粉末的质量设为B时，将B相对于(A+B)的比率设为5%以上40%以下的范围。

主权项

一种铁电薄膜的制造方法，从毛细管的吐出口朝向具有下部电极的基板的所述下部电极静电喷涂铁电薄膜形成用的静电喷涂用液而将所述静电喷涂用液涂布到所述下部电极上来形成涂膜，对所述涂膜进行干燥、临时烧结之后进行烧成来使其结晶化，从而在所述下部电极上制造铁电薄膜，其特征在于，所述静电喷涂用液为均匀混合铁电薄膜形成用溶胶‑凝胶液和具有与所述溶胶‑凝胶液的固体物相同组成且具有能从所述吐出口吐出的粒径的粉末的混合液，其中，将溶解于所述溶胶‑凝胶液中的金属化合物换算成金属氧化物的质量设为A，将所述粉末的质量设为B时，B相对于A+B的比率在5%以上40%以下的范围。