发明名称 |
圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪 |
摘要 |
本实用新型提供一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其包括一个三角形工作台面,在所述工作台面上分别安置三个圆座,每个圆座上安置一个能够转动的小钢球,所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处,在所述三角形工作台面的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座,在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表,与现有技术相比,本实用新型提供的圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪克服了各类规格圆形光盘母盘基片由于玻璃自重而产生的变形影响测量精度的不利因素,使测量精度大大提高,该圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪不仅操作方便,检查直观,而且工作效率极高,十几秒钟即可从千分表中读出数值。 |
申请公布号 |
CN202885759U |
申请公布日期 |
2013.04.17 |
申请号 |
CN201220200391.8 |
申请日期 |
2012.05.04 |
申请人 |
上海申菲激光光学系统有限公司 |
发明人 |
应永伟;王华龙 |
分类号 |
G01B5/28(2006.01)I |
主分类号 |
G01B5/28(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种圆形光盘母盘玻璃基片平面度检测仪,其特征在于,包括一个三角形工作台面,在所述工作台面上分别安置三个圆座,每个圆座上安置一个能够转动的小钢球,所述三个圆座分别设置于靠近所述三角形工作台面的三条边处,在所述三角形工作台面的边缘三角位置,均分别设有一小滚珠轴承连固定座,在所述工作台面的中心位置下方设有一台千分表。 |
地址 |
201615 上海市松江区九亭小寅 |