吸附传输机构

摘要

本实用新型公开了吸附传输机构，它包括左、右传送皮带主动轮和与所述的左、右传送皮带主动轮分别相对设置的左、右传送皮带从动轮，所述的左传送皮带主动轮和左传送皮带从动轮之间通过两条间隔设置的左传送皮带转动相连，所述的右传送皮带主动轮和右传送皮带从动轮之间通过两条间隔设置的右传送皮带转动相连，所述的左、右传送皮带分别设置在位于左、右传送皮带下方的一个吸附板开设的凹槽内，在所述的吸附板上沿硅片运动的方向分别开有多个吸附孔。本机构可以增加硅片与传送皮带之间的接触压力以增大两者之间的摩擦力，从而保证皮带带动硅片高速运动过程中硅片姿态一致及位置的准确。

主权项

吸附传输机构，它包括左、右传送皮带主动轮和与所述的左、右传送皮带主动轮分别相对设置的左、右传送皮带从动轮，所述的左传送皮带主动轮和左传送皮带从动轮之间通过两条间隔设置的左传送皮带转动相连，所述的右传送皮带主动轮和右传送皮带从动轮之间通过两条间隔设置的右传送皮带转动相连，其特征在于：所述的左、右传送皮带分别设置在位于左、右传送皮带下方的一个吸附板开设的凹槽内，在所述的吸附板上沿硅片运动的方向分别开有多个吸附孔。