| 发明名称 | 用于扩散炉的石英盖 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种用于扩散炉的石英盖，包括石英盖体，所述石英盖体与扩散炉相连接，所述石英盖体上设有出气口，其特征在于：所述出气口设于石英盖体侧壁上。结构简单，主要用于扩散炉上防止外界气体杂质反冲进入扩散炉内造成污染，可以提高产品品质。 | ||
| 申请公布号 | CN202599115U | 申请公布日期 | 2012.12.12 |
| 申请号 | CN201220194420.4 | 申请日期 | 2012.05.03 |
| 申请人 | 昆山东日半导体有限公司 | 发明人 | 张仓生 |
| 分类号 | F27D1/18(2006.01)I;H01L21/22(2006.01)I | 主分类号 | F27D1/18(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人 | 董建林;严志平 |
| 主权项 | 用于扩散炉的石英盖，包括石英盖体（1），所述石英盖体（1）与扩散炉相连接，所述石英盖体（1）上设有出气口（2），其特征在于：所述出气口（2）设于石英盖体（1）侧壁上。 | ||
| 地址 | 215332 江苏省苏州市昆山市花桥经济开发区花安路1758号 | ||