发明名称 |
机电变换器和光声装置 |
摘要 |
本发明涉及一种机电变换器和光声装置。本发明提供一种机电变换器,其可防止光入射在接收面上,而不使振动膜的机械特性劣化。所述机电变换器具有至少一个单元(2),在单元(2)中,振动膜(7)被能振动地支承,振动膜(7)包含两个电极(3)和(8)中的一个电极(8),所述两个电极(3)和(8)被设置为在其之间插入间隙(5)。所述机电变换器具有形成在振动膜(7)上的、具有与振动膜(7)的声阻抗匹配的声阻抗的应力松弛层(9),并且具有形成在应力松弛层(9)上的光反射层(6)。 |
申请公布号 |
CN102738383A |
申请公布日期 |
2012.10.17 |
申请号 |
CN201210102975.6 |
申请日期 |
2012.04.10 |
申请人 |
佳能株式会社 |
发明人 |
虎岛和敏;笠贯有二 |
分类号 |
H01L41/09(2006.01)I;H01L41/22(2006.01)I |
主分类号 |
H01L41/09(2006.01)I |
代理机构 |
中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 |
代理人 |
杨小明 |
主权项 |
一种具有至少一个单元的机电变换器,在所述单元中,振动膜被能振动地支承,所述振动膜包含两个电极中的一个电极,所述两个电极被设置为在它们之间插入间隙,所述机电变换器包括:应力松弛层,所述应力松弛层被设置在所述振动膜上;和光反射层,所述光反射层被设置在所述应力松弛层上。 |
地址 |
日本东京 |