点测及分选装置

摘要

一种点测及分选装置，整合公知半导体后段工艺中的点测及分选流程，提升园片处理速度，改善蓝膜收缩造成的分选错位问题，免除人工传送步骤，改善工艺可靠度。

主权项

一种点测及分选装置，包括：一装填区，供载入一待测圆片环；一测试区，具有一点测装置供点测该待测圆片环上的芯片；一圆片环置放区，供放置测试后的圆片环；一传送装置，将该待测圆片环自该装填区传送到该测试区，以及将测试后的圆片环传送到该圆片环置放区；一分选盒置放区，供置放分选盒；以及一分选装置，自该圆片环置放区将芯片从测试后的圆片环上分选到该分选盒置放区的分选盒中；圆片环及分选盒的进、出料都设计于装填区，分选完毕的圆片环及分选盒都由传送装置移置到装填区而出料。