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Die Erfindung bezieht sich auf eine Halbleiterpackung mit gestapelten Halbleiterchips, auf ein Halbleitermodul mit einer derartigen Packung, auf ein Verfahren zur Herstellung der Halbleiterpackung sowie auf ein elektronisches Bauelement, das ein derartiges Modul beinhaltet. Eine Halbleiterpackung gemäß der Erfindung beinhaltet ein Packungssubstrat (200) mit einem Durchkontakt (220s), wenigstens einen Halbleiterchip (100, 120), der auf dem Packungssubstrat gestapelt ist, einen thermischen Grenzflächenfilm (132), der auf dem Halbleiterchip gestapelt ist, eine Packungsabdeckung (300), die in Kontakt mit dem thermischen Grenzflächenfilm und über dem Halbleiterchip positioniert ist, und eine Packungshaftstruktur (310) zwischen dem Durchkontakt und einem Teil der Packungsabdeckung. Verwendung in der Halbleiterbauelementtechnologie. |
