| 摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Prozessmaschine, insbesondere zum Bearbeiten und/oder Inspizieren von Substraten, insbesondere Platinen, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit mindestens einer Transporteinrichtung zum Transport der Substrate und mit mindestens einer Prozesseinrichtung zum Prozessieren, insbesondere zum Bearbeiten und/oder Inspizieren der Substrate. Es ist vorgesehen, dass Transporteinrichtung und Prozesseinrichtung als separate, jeweils selbststehende Moduleinheiten ausgebildet sind, wobei die Moduleinheiten derart wählbar miteinander kombinierbar sind, dass die Transporteinrichtung den Transport der Substrate durch die Prozesseinrichtung vornimmt. Die Erfindung betrifft ferner ein auf das Inspizieren und/oder Bedrucken von Substraten, insbesondere Platinen, Leiterplatten, Solarzellen oder dergleichen, mit mindestens einer Transporteinrichtung zum Transport der Platinen und mindestens einer Prozesseinrichtung zum chtetes Verfahren, wobei die Transporteinrichtung und die Prozesseinrichtung derart als separate, jeweils selbststehende Moduleinheiten kombinierbar sind, dass die Transporteinrichtung den Transport der Substrate durch die Prozesseinrichtung vornimmt.
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