| 发明名称 | 有机氨基硅烷前体及沉积包含该前体的薄膜的方法 | ||
| 摘要 | 本发明描述了形成介电薄膜的前体和方法。在一个方面，提供了下式I的硅前体：<img file="dsa00000514362100011.GIF" wi="465" he="574" />其中，R<sup>1</sup>独立地选自氢、直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>链烯基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>炔基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷氧基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>二烷基氨基和吸电子基团，且n为选自0、1、2、3、4和5的数字；和R<sup>2</sup>独立地选自氢、直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>链烯基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>炔基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷氧基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>二烷基氨基、C<sub>6</sub>-C<sub>10</sub>芳基、直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>氟代烷基和C<sub>4</sub>-C<sub>10</sub>环烷基。 | ||
| 申请公布号 | CN102295657A | 申请公布日期 | 2011.12.28 |
| 申请号 | CN201110154621.1 | 申请日期 | 2011.06.02 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | 萧满超;M·L·奥尼尔;H·R·鲍恩;程寒松;雷新建 |
| 分类号 | C07F7/10(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I;C23C16/34(2006.01)I;C23C16/36(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C16/448(2006.01)I | 主分类号 | C07F7/10(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人 | 吴亦华;徐志明 |
| 主权项 | 1.下式I表示的有机氨基硅烷前体：<img file="FSA00000514362300011.GIF" wi="466" he="576" />其中，式I中的R<sup>1</sup>独立地选自氢原子、直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>链烯基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>炔基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷氧基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>二烷基氨基和吸电子基团，且n为选自0、1、2、3、4和5的数字；和R<sup>2</sup>独立地选自氢原子、直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>链烯基、直链或支链C<sub>2</sub>-C<sub>6</sub>炔基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷氧基、具有连接于其上的C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷氧基的C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基、具有连接于其上的C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>二烷基氨基的C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>烷基、C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>二烷基氨基、C<sub>6</sub>-C<sub>10</sub>芳基、直链或支链C<sub>1</sub>-C<sub>6</sub>氟代烷基和C<sub>4</sub>-C<sub>10</sub>环烷基。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||