发明名称 |
光伏多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置 |
摘要 |
本实用新型涉及光伏多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置,包括:伺服电机、运动控制器、伺服驱动器、石英棒;所述石英棒通过机械装置安装在光伏多晶硅铸锭炉体内坩埚的上方并能沿垂直方向移动;所述运动控制器通过运动控制总线与伺服驱动器双向连接,伺服驱动器的信号输出端通过电源控制线与伺服电机的信号输入端连接,伺服驱动器的信号输入端通过轴编码器反馈线与伺服电机的信号输出端连接,伺服电机的转动输出轴通过传动机构与石英棒相连。本实用新型具有测量精度高、调试整定方便的特点,可提高多晶硅铸锭质量,实现长晶速度测量自动化。 |
申请公布号 |
CN201801630U |
申请公布日期 |
2011.04.20 |
申请号 |
CN201020502126.6 |
申请日期 |
2010.08.23 |
申请人 |
清华大学;江西旭阳雷迪高科技股份有限公司;江苏华盛天龙光电设备股份有限公司 |
发明人 |
于庆广;翟志华;冯龑 |
分类号 |
C30B11/00(2006.01)I;C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I |
主分类号 |
C30B11/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 |
代理人 |
廖元秋 |
主权项 |
一种光伏多晶硅铸锭炉长晶速度自动测量装置,其特征在于,该装置包括:伺服电机、运动控制器、伺服驱动器、石英棒;所述石英棒通过机械装置安装在光伏多晶硅铸锭炉体内坩埚的上方并能沿垂直方向移动;所述运动控制器通过运动控制总线与伺服驱动器双向连接,伺服驱动器的信号输出端通过电源控制线与伺服电机的信号输入端连接,伺服驱动器的信号输入端通过轴编码器反馈线与伺服电机的信号输出端连接,伺服电机的转动输出轴通过传动机构与石英棒相连。 |
地址 |
100084 北京市海淀区清华园1号 |